蕭至忠出身蘭陵蕭氏皇舅房,早年曾任畿尉,后歷任監察御史、吏部員外郎,因依附武三思被擢升為御史中丞,改任吏部侍郎。
景龍元年(707年),蕭至忠拜相,擔任中書侍郎、同平章事。景龍三年(709年),升任侍中,依附于皇后韋氏。唐隆政變后,蕭至忠又依附太平公主,升任刑部尚書、中書令,封酂國公。
開元元年(713年),蕭至忠與太平公主圖謀不軌,意欲作亂,結果事情泄露。唐玄宗發動先天政變,誅殺太平公主黨羽,蕭至忠伏誅。
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